[实用新型]分体式托晶盘

摘要

本实用新型公开了一种分体式托晶盘，涉及单晶炉设备技术领域，包括托盘和连接杆，连接杆下端与托盘固定，上端与单晶炉副室下法兰盘固定连接，托盘包括结构相同的第一托板和第二托板，第一托板与第二托板均设有半圆槽，第一托板与第二托板的半圆槽拼成的整圆直径小于单晶棒的直径，第一托板和第二托板分别铰接有第一连接件和第二连接件，第一托板的第一销轴与第二托板的第二连接件配合，第一托板的第一连接件与第二托板的第二销轴配合。利用连接杆悬挂在单晶炉副室下法兰盘上，下方托盘可将单晶棒托住，打开托晶盘两侧的第一连接件和第二连接件，即可将单晶棒下放取出，降低了操作难度系数。本实用新型具有结构简单、操作方便、便于维护的优点。

主权项

一种分体式托晶盘，其特征在于：包括托盘（1）和两个结构相同的连接杆（2），所述两个连接杆（2）对称设置在托盘（1）两侧，所述连接杆（2）下端与托盘（1）固定，上端与单晶炉副室下法兰盘（3）固定连接，所述托盘（1）包括结构相同的第一托板（11）和第二托板（12），所述第一托板（11）与第二托板（12）的相背端分别与位于托盘（1）两侧的两个连接杆（2）下端连接，相对端均设有半圆槽，所述第一托板（11）与第二托板（12）的半圆槽拼成的整圆直径小于单晶棒的直径，所述第一托板（11）的一侧设有第一销轴（13），所述第一托板（11）的另一侧铰接有第一连接件（14），所述第二托板（12）的一侧铰接有第二连接件（15），所述第二连接件（15）与第一托板（11）的第一销轴（13）配合，所述第二托板（12）的另一侧设有第二销轴（16），所述第二销轴（16）与第一托板（11）的第一连接件（14）配合。