[实用新型]一种用于激光剥蚀固体的样品池有效

专利信息
申请号: 201320800559.3 申请日: 2013-12-06
公开(公告)号: CN203672702U 公开(公告)日: 2014-06-25
发明(设计)人: 金献忠;张建波;谢健梅;陈建国 申请(专利权)人: 宁波检验检疫科学技术研究院
主分类号: G01N1/44 分类号: G01N1/44
代理公司: 宁波奥圣专利代理事务所(普通合伙) 33226 代理人: 邱积权
地址: 315012 *** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 实用新型公开了一种用于激光剥蚀固体的样品池,样品池包括具有样品摆放台的塞入体和下端开口的固定筒体,样品摆放台位于塞入体的上端,固定筒体的上方有一个对激光波长是透明的窗口,该窗口允许激光能量穿过并聚焦到样品表面,塞入体从固定筒体的下端开口部塞入,使固定筒体内形成一个密闭空腔,样品摆放台位于密闭空腔内,固定筒体上设置有与密闭空腔相通的进气口和出气口,其优点是样品池的进出气口固定设置,取放样品时,不涉及进出气口的位置变化,进出气管一直固定,保证气路的正常状态。样品池的窗口一直固定,聚焦不会受到影响,重现性比较好。样品池是封闭气密的,避免样品的损失及空气的掺入。样品池的密闭空腔体积约为8cm3
搜索关键词: 一种 用于 激光 剥蚀 固体 样品
【主权项】:
一种用于激光剥蚀固体的样品池,其特征在于样品池包括具有样品摆放台的塞入体和下端开口的固定筒体,所述的样品摆放台位于塞入体的上端,所述的固定筒体的上方有一个对激光波长是透明的窗口,该窗口允许激光能量穿过并聚焦到样品表面,所述的塞入体从固定筒体的下端开口部塞入,使所述的固定筒体内形成一个密闭空腔,所述的样品摆放台位于所述的密闭空腔内,所述的固定筒体上设置有与所述的密闭空腔相通的进气口和出气口。
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