[实用新型]一种强制循环式多晶硅还原炉钟罩有效
申请号: | 201320694546.2 | 申请日: | 2013-11-06 |
公开(公告)号: | CN203794641U | 公开(公告)日: | 2014-08-27 |
发明(设计)人: | 郭增昌;刘申良;杨连勇 | 申请(专利权)人: | 新特能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人: | 刘洪京 |
地址: | 830011 新疆维吾*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 一种强制循环式多晶硅还原炉钟罩,该钟罩,包括有耐热风扇叶⑴、空心传动轴⑵、导流筒⑶、导流筒冷却水进口管⑷、导流筒冷却水出口管⑸、导流筒与钟罩间环形出口⑹、还原炉钟罩⑺和固定筋管⑻;其中,风扇叶⑴与空心传动轴⑵刚性连接;空心传动轴⑵由电动机带动;导流筒与钟罩靠筋管⑻固联;风扇叶的角度30~60°;风扇叶数量不低于两叶。该还原炉钟罩可降低多晶硅棒生长过程中硅棒表面气体界面层过厚、改善还原炉内气场和温度场的均匀性的强制循环装置。 | ||
搜索关键词: | 一种 强制 循环 多晶 还原 炉钟罩 | ||
【主权项】:
一种强制循环式多晶硅还原炉钟罩,其特征在于,该钟罩,包括有耐热风扇叶⑴、空心传动轴⑵、导流筒⑶、导流筒冷却水进口管⑷、导流筒冷却水出口管⑸、导流筒与钟罩间环形出口⑹、还原炉钟罩⑺和固定筋管⑻;其中,风扇叶⑴与空心传动轴⑵刚性连接;空心传动轴⑵由电动机带动;导流筒与钟罩靠筋管⑻固联;风扇叶的角度30~60°;风扇叶数量不低于两叶。
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