[实用新型]抗蚀剂层的薄膜化装置有效
| 申请号： | 201320593542.5 | 申请日： | 2013-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN203587965U | 公开（公告）日： | 2014-05-07 |
| 发明（设计）人： | 丰田裕二;后闲宽彦;川合宣行;中川邦弘 | 申请（专利权）人： | 三菱制纸株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 崔幼平;谭祐祥 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种抗蚀剂层的薄膜化装置，在具备通过浸渍槽中的薄膜化处理液使抗蚀剂层中的成分胶束化的薄膜化处理单元，和通过胶束除去液将胶束除去的胶束除去处理单元的抗蚀剂层的薄膜化装置中，能够抑制胶束除去液向薄膜化处理单元的倒流及抑制抗蚀剂层表面的薄膜化处理液的流动，并且抑制薄膜化处理液从浸渍槽的带出。通过在薄膜化处理单元与胶束除去处理单元的边界部的运送辊对上设置有胶束除去液截断罩的薄膜化装置、在浸渍槽的出口辊对与胶束除去处理单元的入口辊对之间设置有断液辊对的薄膜化装置、以及在浸渍槽的出口辊对与胶束除去处理单元的入口辊对之间设置有防液壁的抗蚀剂层的薄膜化装置，能够解决问题。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂层 薄膜 化装 | ||
【主权项】：
一种抗蚀剂层的薄膜化装置，具备通过薄膜化处理液使抗蚀剂层中的成分胶束化的薄膜化处理单元，和通过胶束除去液将胶束除去的胶束除去处理单元，具有运送在表面上形成有抗蚀剂层的基板的运送辊，薄膜化处理单元具有装入薄膜化处理液的浸渍槽，胶束除去处理单元具有用来供给胶束除去液的胶束除去液供给喷雾，其特征在于，设置有从胶束除去液倒流抑制机构及薄膜化处理液带出抑制机构选择的至少一种机构。
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