[实用新型]一种蒸镀炉有效
| 申请号： | 201320583808.8 | 申请日： | 2013-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN203513787U | 公开（公告）日： | 2014-04-02 |
| 发明（设计）人： | 胡光辉 | 申请（专利权）人： | 和宏华进纳米科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 竺路玲 |
| 地址： | 201500 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种蒸镀炉，包括：一蒸镀炉炉体；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。使用本实用新型一种蒸镀炉，能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蒸镀炉 | ||
【主权项】：
一种蒸镀炉，其特征在于，包括：一蒸镀炉炉体，所述蒸镀炉炉体的内部为空腔；一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门，所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔；所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘，所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极，所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架，每一所述工件支架包括一转轴，所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘，所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转；所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构，每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应，所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。
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