[实用新型]一种蒸镀炉有效

专利信息
申请号: 201320583778.0 申请日: 2013-09-22
公开(公告)号: CN203513786U 公开(公告)日: 2014-04-02
发明(设计)人: 陈海婴 申请(专利权)人: 和宏华进纳米科技(上海)有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24
代理公司: 上海申新律师事务所 31272 代理人: 竺路玲
地址: 201500 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 实用新型公开一种蒸镀炉,包括:一蒸镀炉炉体;所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘,所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极,所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架,每一所述工件支架包括一转轴,所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘,所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转;所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构,每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应,所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转。使用本实用新型一种蒸镀炉,能够有效地提高工件蒸镀的均匀性。
搜索关键词: 一种 蒸镀炉
【主权项】:
一种蒸镀炉,其特征在于,包括: 一蒸镀炉炉体,所述蒸镀炉炉体的内部为空腔; 一与所述蒸镀炉炉体枢设的蒸镀炉炉门,所述蒸镀炉炉门可打开或封闭所述蒸镀炉炉体的所述空腔; 所述蒸镀炉炉体的所述空腔底部沿水平方向设有一转料盘,所述转料盘的中央沿竖直方向安装一蒸镀炉电极,所述转料盘的外缘沿竖直方向均布若干用于悬挂工件的工件支架,每一所述工件支架包括一转轴,所述转轴沿竖直方向设置在所述转料盘的外缘,所述转料盘可转动地带动所述工件支架绕所述蒸镀炉电极旋转; 所述转料盘的底部还分别设置若干所述旋转机构,每一所述工件支架与每一所述旋转机构一一对应,所述转料盘通过所述旋转机构带动所述工件支架绕其自身自转; 所述蒸镀炉电极包括若干电极支撑杆、电极底座以及电极顶板;若干所述电极支撑杆沿竖直方向固设于所述电极底座和所述电极顶板之间,并且所述电极底座位于所述转料盘的中央,所述转料盘绕所述电极底座旋转;每一所述电极支撑杆从上至下设有若干电极连接杆,相邻的两所述电极支撑杆的每一对电极连接杆之间设有电极丝; 所述电极支撑杆的数量为两根,每一所述电极支撑杆从上至下沿水平方向分别设有两排若干所述电极连接杆,两排所述电极连接杆分别朝向背对方向,并且两所述电极支撑杆的相互靠近的每一对所述电极连接杆相互平行,同时,每一对所述电极连接杆之间位于同一高度。
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