[实用新型]一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟有效
| 申请号： | 201320568682.7 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203546137U | 公开（公告）日： | 2014-04-16 |
| 发明（设计）人： | 王小淼;张玉贵 | 申请（专利权）人： | 洛阳爱科麦钨钼制品有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26 |
| 代理公司： | 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 | 代理人： | 苗强 |
| 地址： | 471000 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟，包括一体结构的舟皿本体，所述舟皿本体包括内腔为四棱锥形的槽体，所述槽体中两个相对的侧板的顶端均设有阶梯状的延伸板，另外两个相对的侧板的两端的内表面均呈波纹状。本实用新型中，在舟皿本体的槽体中两个相对侧板的两端设置的波纹状的内表面，能够避免其中盛放的熔融态的蒸发源的上液面形成弧形面，使槽体中盛放的熔融态的蒸发源上表面铺展更均匀、平整，防止所形成的镀膜的厚度不均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的钨舟或钼舟，包括一体结构的舟皿本体，其特征在于：所述舟皿本体包括内腔为四棱锥形的槽体（1），所述槽体（1）中两个相对的侧板的顶端均设有阶梯状的延伸板（2），另外两个相对的侧板的两端的内表面均呈波纹状。
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