[实用新型]硅片清洗机排风口冷凝回流装置有效
| 申请号： | 201320568657.9 | 申请日： | 2013-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN203526173U | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 陈前兆;徐昌华;史才成;孟宪亮;郝子龙;郑银先;华贵俊;高超 | 申请（专利权）人： | 江苏晶鼎电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/00;H01L31/18;H01L33/10 |
| 代理公司： | 淮安市科文知识产权事务所 32223 | 代理人： | 谢观素 |
| 地址： | 223700 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括清洗机工艺槽一侧的排风管，由所述排风管的吸风口为起始端向下倾斜设置有一块回流板，所述回流板的末端与清洗机的内壁固定连接。本实用新型在排风口附近增设回流板，聚集在排风口附近的水汽就会顺着回流板流到机壁上，进而沿着机壁向下流到工艺槽内，不会直接滴落到硅片上，不会对已经完成工位操作的硅片表面造成污染，保证硅片制绒清洗的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 清洗 风口 冷凝 回流 装置 | ||
【主权项】：
硅片清洗机排风口冷凝回流装置，包括清洗机工艺槽（1）一侧的排风管（2），其特征在于：由所述排风管（2）的吸风口为起始端向下倾斜设置有一块回流板（3），所述回流板（3）的末端与清洗机的内壁（4）固定连接。
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