[实用新型]MOCVD内置吸尘器有效

专利信息
申请号: 201320559697.7 申请日: 2013-09-10
公开(公告)号: CN203474962U 公开(公告)日: 2014-03-12
发明(设计)人: 赵海标;王新阳;陈建荣 申请(专利权)人: 冠铨(山东)光电科技有限公司
主分类号: C30B25/14 分类号: C30B25/14;C30B28/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 272000 山东省济宁市*** 国省代码: 山东;37
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摘要: OCVD内置吸尘器,由缓冲箱、过滤网、手套箱、控制开关、吸尘器管、缓冲底座、集尘箱、抽真空管组成,其特征是手套箱的一端设置控制开关,手套箱的另一端下侧设置抽真空管,手套箱的内部下侧设置缓冲底座,缓冲底座上设置集尘箱,集尘箱的上端设置缓冲箱,缓冲箱的下侧设置过滤网,集尘箱的两侧分别设置吸尘器管,本实用新型的有益效果是MOCVD内置吸尘器滤网不易堵塞,清洗效率较高,维护使用成本较低,使用寿命较长。
搜索关键词: mocvd 内置 吸尘器
【主权项】:
MOCVD内置吸尘器,由缓冲箱(1)、过滤网(2)、手套箱(3)、控制开关(4)、吸尘器管(5)、缓冲底座(6)、集尘箱(7)、抽真空管(8)组成,其特征是手套箱(3)的一端设置控制开关(4),手套箱(3)的另一端下侧设置抽真空管(8),手套箱(3)的内部下侧设置缓冲底座(6),缓冲底座(6)上设置集尘箱(7),集尘箱(7)的上端设置缓冲箱(1),缓冲箱(1)的下侧设置过滤网(2),集尘箱(7)的两侧分别设置吸尘器管(5)。
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