[实用新型]直拉单晶炉有效
申请号: | 201320553829.5 | 申请日: | 2013-09-06 |
公开(公告)号: | CN203559152U | 公开(公告)日: | 2014-04-23 |
发明(设计)人: | 毛静;马少林;王福敏 | 申请(专利权)人: | 银川隆基硅材料有限公司;西安隆基硅材料股份有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;无锡隆基硅材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 罗笛 |
地址: | 750021 宁夏回族自治区银*** | 国省代码: | 宁夏;64 |
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摘要: | 直拉单晶炉,包括壳体和设置在壳体内的热场装置,壳体包括炉底板和炉侧壁,热场装置位于炉底板上方,热场装置与炉底板之间设有护底板,炉底板与护底板之间设有隔离架。本实用新型解决了现有技术热场装置与炉底板直接接触导致的热能损耗大的问题。大幅度降低了能量损耗,可在不影响单晶品质及拉速的前提下,达到等径功率降低3~5KW。 | ||
搜索关键词: | 直拉单晶炉 | ||
【主权项】:
直拉单晶炉,包括壳体(11)和设置在所述壳体(11)内的热场装置(12),所述壳体(11)包括炉底板(110)和炉侧壁(111),所述热场装置(12)位于炉底板(110)上方,热场装置(12)与炉底板(110)之间设有护底板(123),其特征在于:所述炉底板(110)与所述护底板(123)之间设有隔离架(13);所述隔离架(13)包括托盘(130)和支撑结构(131),所述托盘(130)与所述炉侧壁(111)之间有间隙。
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