[实用新型]一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置

摘要

一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，包括钢架底座；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。本实用新型结构简单、集成度高、功能全面，为晶圆形状参数测量提供了解决方案。

主权项

一种可补偿轴系误差的立式晶圆形状测量装置，其特征在于，包括：钢架底座；电控柜，所述的电控柜安装在钢架底座内部，电控柜装有电控系统；工控机，所述的工控机设在电控柜的侧面、钢架底座的内部；平台，所述的平台设在钢架底座上；支撑座，所述的支撑座设在平台上；横梁，所述的横梁设在支撑座上；轴系，所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴；所述的X轴设在横梁上；所述的Y轴设在平台上，与X轴相互垂直；所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直，且其运动方向垂直于测量平台；所述的旋转轴固定在Y轴动板上；晶圆承载台，所述的晶圆承载台固定在旋转轴上；接触式测长装置，所述的接触式测长装置固定在Z轴动板上；平面平晶，所述的平面平晶设在与X轴运动方向平行的横梁上。