[实用新型]一种合金型二次电子发射材料激活装置有效
| 申请号： | 201320468739.6 | 申请日： | 2013-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN203481177U | 公开（公告）日： | 2014-03-12 |
| 发明（设计）人： | 王彬;熊良银;李明群;葛鹏;刘实 | 申请（专利权）人： | 中国科学院金属研究所 |
| 主分类号： | H01J9/12 | 分类号： | H01J9/12 |
| 代理公司： | 沈阳晨创科技专利代理有限责任公司 21001 | 代理人： | 张晨 |
| 地址： | 110015 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 了满足合金型二次电子发射材料不同激活工艺条件下的工艺参数要求，本实用新型提供了一种合金型二次电子发射材料激活装置，能够在不同激活工艺参数条件下激活处理合金型二次电子发射材料，其特征在于：所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室；其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气体反应制备室可以制取高纯度的氧化性气体，并贮存在气瓶中，气压表用于监测气体反应制备室与贮气瓶内的气压，确保安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 合金 二次电子 发射 材料 激活 装置 | ||
【主权项】：
一种合金型二次电子发射材料激活装置，其特征在于：所述装置包括真空系统、氧化性气体源和反应室；其中，真空系统和氧化性气体源均与反应室相连，氧化性气体源包括气体反应制备室、贮气瓶、气压表和气体质量流量计，气体反应制备室与贮气瓶连通，并通过气体质量流量计与反应室相连，气压表用于监测气体反应制备室与贮气瓶内的气压。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院金属研究所，未经中国科学院金属研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320468739.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：床上笔记本电脑桌
- 下一篇：一种新型漆包机的退火导轮
