[实用新型]水射流激光刻划脆性材料超薄片的系统

摘要

本实用新型为水射流激光刻划脆性材料超薄片的系统，本系统射流喷嘴产生的水射流束在工件表面的喷射点中心和激光束在工件表面的聚焦点中心的距离等于或小于激光束在工件表面聚焦点半径的1～2.5倍。射流喷头的纵向中心线可和激光束中心线重合，工件表面激光聚焦点和射流喷射点中心重合。工作台为装有水的工作腔，工作台顶部凸台顶面的工件表面有0.5～1.5mm的水层。工作腔的溢流口接入水池，水泵将水池内的水泵入射流喷嘴产生水射流。使用时固定工件，调节工件表面的水射流喷射点和激光聚焦点的距离，激光刻蚀划片，水射流束对加工区冷却、冲刷。达到加工表面无再铸层、无残余应力、无微裂纹的效果，并提高加工效率。

主权项

水射流激光刻划脆性材料超薄片的系统，包括激光控制单元、脉冲激光器和聚焦透镜，激光控制单元连接、控制脉冲激光器，脉冲激光器发出的激光束经聚焦透镜聚焦，工件固定于工作台上，工作台安装有工作台X轴驱动机构和工作台Y轴驱动机构；其特征在于：所述激光束经聚焦透镜（4）聚焦于工件（6）表面；还包括射流喷嘴（5），其产生的水射流束在工件（6）表面的喷射点中心和激光束在工件（6）表面的聚焦点中心的距离等于或小于激光束在工件（6）表面聚焦点半径的1～2.5倍。