[实用新型]具流量控制的晶圆载具气体填充装置

摘要

一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，并包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置。该控制装置电连接于该气体特性感测器，接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。如此，让该晶圆载具内部气体能够于设定时间内快速的被置换，以有效地控制制程时间与填充气体用量，进而提升制程上的产能。

主权项

一种具流量控制的晶圆载具气体填充装置，适用于连接一个晶圆载具，该晶圆载具气体填充装置包含一个进气端质量流量控制器、一个进气端、一个排气端、一个气体特性感测器、一个排气端质量流量控制器、一个抽气装置，及一个控制装置，其特征在于： 该进气端，连接于该进气端质量流量控制器与该晶圆载具间； 该排气端，连接于该晶圆载具； 该气体特性感测器，连接于该排气端； 该排气端质量流量控制器，连接于该气体特性感测器； 该抽气装置，连接于该排气端质量流量控制器； 该控制装置，电连接于该气体特性感测器，用以接收该气体特性感测器的一个感测信号后，再经由运算处理，以控制该进气端质量流量控制器与该排气端质量流量控制器，以自动调节进、出气体的流量。