[实用新型]用于硅片生产的热交换器清洁装置有效
申请号: | 201320377647.7 | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN203405124U | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 秦玉文 | 申请(专利权)人: | 宇骏(潍坊)新能源科技有限公司 |
主分类号: | F28G9/00 | 分类号: | F28G9/00;F28G15/00 |
代理公司: | 潍坊正信专利事务所 37216 | 代理人: | 王秀芝 |
地址: | 261061 山东省潍坊*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本实用新型涉及硅片加工设备技术领域,提供了一种用于硅片生产的热交换器清洁装置,包括循环水罐,该循环水罐的出水口通过循环水进水管与热交换器的物料入口相连通,循环水进水管上设有循环泵,循环水罐的回水口通过循环水回水管与热交换器的物料出口相连通;循环水罐的热水进水口通过热水进水管连通热水源,热水进水管上设有热水泵,循环水罐的自来水进水口连通自来水源,自来水源与循环水罐之间的管道上设有第一控制阀;循环水罐的清洗液入口连通清洗液源,清洗液源与循环水罐之间的管道上设有第二控制阀,循环水罐的下部设有排水管,排水管上设有第三控制阀。该热交换器清洁装置不仅能加快清洗的效率,还能保证清洗的洁净程度。 | ||
搜索关键词: | 用于 硅片 生产 热交换器 清洁 装置 | ||
【主权项】:
一种用于硅片生产的热交换器清洁装置,其特征在于:其包括循环水罐,所述循环水罐的出水口通过循环水进水管与热交换器的物料入口相连通,所述循环水进水管上设有循环泵,循环水罐的回水口通过循环水回水管与所述热交换器的物料出口相连通;所述循环水罐的热水进水口通过热水进水管连通热水源,所述热水进水管上设有热水泵,所述循环水罐的自来水进水口连通自来水源,所述自来水源与所述循环水罐之间的管道上设有第一控制阀;所述循环水罐的清洗液入口连通清洗液源,所述清洗液源与所述循环水罐之间的管道上设有第二控制阀,所述循环水罐的下部设有排水管,所述排水管上设有第三控制阀。
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