[实用新型]电浆激发装置有效
| 申请号： | 201320357058.2 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN203398085U | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 陈庆安;张宏隆;胡肇汇 | 申请（专利权）人： | 志圣工业股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州市越秀区海心联合专利代理事务所(普通合伙) 44295 | 代理人： | 任琳 |
| 地址： | 510850 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电浆激发装置，适于通一射频后对一真空的反应腔体提供均匀的磁场，所述电浆激发装置包括多个线圈单元，所述的多个线圈单元沿一轴线间隔排列于所述反应腔体的一侧面，每一线圈单元包括一沿所述轴线的方向延伸并环绕的螺线圈，所述螺线圈形成多个平行于所述侧面的第一长边，所述多个第一长边相间隔且相互平行，所述螺线圈的两端通电以产生磁场。本实用新型的电浆激发装置能够提供均匀时变的交流磁场，从而提高制程的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 激发 装置 | ||
【主权项】：
一种电浆激发装置，适于通一射频后对一真空的反应腔体提供均匀的磁场，所述电浆激发装置包括：多个线圈单元，所述的多个线圈单元沿一轴线间隔排列于所述反应腔体的一侧面，每一线圈单元包括一沿所述轴线的方向延伸并环绕的螺线圈，所述螺线圈形成多个平行于所述侧面的第一长边，所述多个第一长边相间隔且相互平行，所述螺线圈的两端通电以产生磁场。
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