[实用新型]一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构

摘要

本实用新型公开了一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，真空镀膜设备包括真空室腔体，位于真空室腔体上的门，以及阴极，门和阴极通过转动轴连接，且阴极绕转动轴相对于门做旋转运动，翻转机构包括安装在门上的传动轴以及驱动传动轴转动的驱动电机，阴极上设有第一基座，第一基座上安装有固定杆，且传动轴通过皮带和固定杆连接传动。该种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构通过传动轴上两端所安装的带盘来控制皮带的收放，即控制阴极的翻转动作，结构简单合理，安装操作方便，在一定的空间范围内可以准确的实现翻转及复原动作，与现有的阴极翻转机构相比，解决了其操作不便，耗时比较久的问题，提高了生产效率。

主权项

一种用于真空镀膜设备阴极靶材更换的翻转机构，所述的真空镀膜设备包括真空室腔体（1），位于真空室腔体（1）上的门（2），以及阴极（3），所述的门（2）和阴极（3）通过转动轴（12）连接，且所述的阴极（3）绕转动轴（12）相对于门（2）做旋转运动，其特征在于：所述的翻转机构包括安装在门（2）上的传动轴（8）以及驱动传动轴（8）转动的驱动电机（4），所述的阴极（3）上设有第一基座（11），第一基座（11）上安装有固定杆（10），且所述的传动轴（8）通过皮带（5）和固定杆（10）连接传动。