[实用新型]一种真空设备中热场的排气装置有效
| 申请号： | 201320159869.1 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203173825U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 顾正;刘缵森;马福厚 | 申请（专利权）人： | 青岛隆盛晶硅科技有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/021 | 分类号： | C01B33/021 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266234 山东省*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型属于真空设备领域，特别涉及一种用于真空设备中的排气装置。该装置是在含有热场的真空设备的炉体外壁上固定安装排气装置，其中，排气装置进气口伸入到热场内部，出气口连接真空抽气装置。本实用新型装置构思独特，方便实用，通过将真空设备内热场排气管应用在多晶硅真空熔炼提纯设备上，可以将熔炼挥发出来的杂质气体直接抽走，不污染热场，同时延长石墨和保温碳毡的使用寿命，提供一种结构简单、使用方便、成本较低的真空设备内热场的排气装置，可以延长附属产品使用寿命，可投入实际生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空设备 中热场 排气装置 | ||
【主权项】：
一种真空设备中热场的排气装置，其特征是：在含有热场的真空设备的炉体外壁（1）上固定安装排气装置，其中，排气装置进气口伸入到热场内部，出气口连接真空抽气装置。
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