[实用新型]剪切干涉测量装置有效
| 申请号： | 201320141623.1 | 申请日： | 2013-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN203241024U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 徐建程 | 申请（专利权）人： | 浙江师范大学 |
| 主分类号： | G01B9/02 | 分类号： | G01B9/02;G01B11/24 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 321004 *** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种剪切干涉测量装置，包括干涉仪、参考镜、测试镜及平移台；其中，所述测试镜固定在平移台上，所述平移台可沿水平、垂直方向平移，平移量等于干涉仪探测器中一个像素对应物空间中测试面的尺寸大小。所述干涉仪、参考镜及测试镜的中心高度一致。本剪切干涉测量装置不需要昂贵的高精度剪切板。本装置在平移测试镜前后分别用干涉仪测量，通过计算两次测量结果之差就实现了剪切干涉测量，具有重要的应用价值。 | ||
| 搜索关键词： | 剪切 干涉 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种剪切干涉测量装置，其特征在于，没有剪切板，仅包括干涉仪、参考镜、测试镜及平移台；其中所述测试镜固定在平移台上，所述平移台可沿水平、垂直方向平移，平移量等于干涉仪探测器中一个像素对应物空间中测试面的尺寸大小；所述干涉仪、参考镜及测试镜的中心高度一致。
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