[实用新型]制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置

摘要

本实用新型涉及一种制造石英坩埚用石墨电极以及石英坩埚制造装置，石墨电极包括：圆柱形基部；至少部分呈圆弧形的端部，端部圆弧的半径尺寸为5-20mm之间；以及平滑连接圆柱形基部和圆弧形端部的圆台形过渡区，该圆台形过渡区与所述端部邻接位置的直径在10-35mm之间。电极端部采用圆弧状设计，易于脱落的端部接触位置使用前将被加工掉，所以从该位置脱落的石墨颗粒大大减少。端部的圆弧的半径大小控制在5-20mm之内，使得电流密度最高点将优先集中于端部位置的顶端，使得电流稳定；与端部邻接位置的直径控制在10-35mm之间，可以保证端部足够的电流密度此时形成间端放电。由此形成的电弧也稳定，温度控制也更加稳定。

主权项

制造石英坩埚用石墨电极，其特征在于，包括：圆柱形基部；以及与该圆柱形基部相连的至少部分呈圆弧形的端部；所述端部的圆弧为半径尺寸为5‑20mm之间的圆形的一部分，所述圆柱形基部的直径在10‑35mm之间。