[实用新型]一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统有效
申请号: | 201320104279.9 | 申请日: | 2013-03-07 |
公开(公告)号: | CN203222487U | 公开(公告)日: | 2013-10-02 |
发明(设计)人: | 李俊;朱宝毅;陈惟勤;刘芳 | 申请(专利权)人: | 江西景德半导体新材料有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 333000 江*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统,包括导热油加热装置(4)、导热油降温装置(5)、流化床反应器(2)、指形管(1)、导热油泵(6),所述导热油加热装置(4)通过管道一(9)与设置在流化床反应器(2)内的指形管(1)相连接,所述指形管(1)通过管道二(12)与导热油降温装置入油管(10)和导热油泵入油管(11)相连接,所述导热油降温装置出油管(13)和导热油泵出油管(14)分别与管道(9)相连,所述管道二(12)上连接有过滤器(3)。本导热油过滤循环系统结构简单、性能稳定、杜绝了三氯氢硅合成过程中导热油管道堵塞现象的出现,因此该系统具有广阔的市场前景。 | ||
搜索关键词: | 一种 合成 三氯氢硅用 导热油 过滤 循环系统 | ||
【主权项】:
一种合成三氯氢硅用导热油过滤循环系统,包括导热油加热装置(4)、导热油降温装置(5)、流化床反应器(2)、指形管(1)、导热油泵(6),所述导热油加热装置(4)通过管道一(9)与设置在流化床反应器(2)内的指形管(1)相连接,所述指形管(1)通过管道二(12)与导热油降温装置入油管(10)和导热油泵入油管(11)相连接,所述导热油降温装置出油管(13)和导热油泵出油管(14)分别与管道一(9)相连,其特征在于:所述管道二(12)上连接有过滤器(3)。
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