[实用新型]多晶硅铸锭炉热场结构有效
| 申请号： | 201320089783.6 | 申请日： | 2013-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN203200374U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 赵海军 | 申请（专利权）人： | 深圳市石金科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B28/06 | 分类号： | C30B28/06;C30B29/06 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人： | 张全文 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型适用于多晶硅铸锭炉技术领域，提供了一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设于所述炉体内的热场箱、设于所述热场箱内的坩埚、设于所述热场箱内壁与所述坩埚外壁之间的加热器和设于所述坩埚底部的热交换平台，所述热场箱包括隔热笼和保温壳，所述保温壳包括保温侧板、保温顶板和保温底板，所述保温侧板贴合固定于所述隔热笼的内侧壁上，所述炉体底部还设有用于带动所述保温底板升降以使所述保温底板贴合密封或者脱离所述保温侧板底端开口的升降杆。其结晶生产过程中，通过控制升降杆带动保温底板下降，可使隔热笼与保温底板之间具有可使热量散发的间隙，从而使熔化后的多晶硅形成纵向温度梯度，纵向逐渐结晶，最终形成多晶硅铸锭。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 铸锭 炉热场 结构 | ||
【主权项】：
一种多晶硅铸锭炉热场结构，包括炉体、设于所述炉体内的热场箱、设于所述热场箱内的坩埚、设于所述热场箱内壁与所述坩埚外壁之间的加热器和设于所述坩埚底部的热交换平台，其特征在于：所述热场箱包括隔热笼和保温壳，所述保温壳包括环绕贴合于所述隔热笼内侧壁上的保温侧板、盖合密封所述保温侧板顶端开口的保温顶板和活动设于所述保温侧板底端开口处的保温底板，所述炉体底部还设有用于带动所述保温底板升降以使所述保温底板贴合密封或者脱离所述保温侧板底端开口的升降杆。
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