[实用新型]一种化学液分配系统

摘要

本实用新型提供一种化学液分配系统，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，其中第一化学液通路包括依次连接的第一气动阀、第一缓冲罐、第二气动阀和计量泵，其中第二化学液通路包括依次连接的第三气动阀、第二缓冲罐、第四气动阀、隔膜泵和脉冲消除装置，其中在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。本实用新型可以避免由于厂端供液时压力波动对化学液流量的影响，同时双系统设计提高了设备的稳定性及配比比例精准度，易于实现。

主权项

一种化学液分配系统，其特征在于，该系统包括分别与机台相连的交替工作的两套相同的子系统，所述子系统包括与在线混合单元相连的第一化学液通路和第二化学液通路，其中，第一化学液通路包括依次连接的：第一气动阀，用于控制化学液流入；第一缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；第二气动阀，用于配合所述第一缓冲罐补液、排液；计量泵，用于控制化学液流量；其中，第二化学液通路包括依次连接的：第三气动阀，用于控制化学液流入；第二缓冲罐，用于消除厂端供液压力波动对流量的影响；第四气动阀，用于配合所述第二缓冲罐补液、排液；隔膜泵，用于控制化学液流量；脉冲消除装置，用于消除流量脉冲，使流量稳定；其中，在线混合单元用于将所述第一化学液通路和第二化学液通路流出的化学液进行混合后传输至机台。