[实用新型]反应罩有效
| 申请号： | 201320054064.0 | 申请日： | 2013-01-29 |
| 公开（公告）号： | CN203080108U | 公开（公告）日： | 2013-07-24 |
| 发明（设计）人： | 徐小明;周永君;丁云鑫 | 申请（专利权）人： | 杭州士兰明芯科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/12 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 茅翊忞 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于氯气刻蚀烘烤设备的反应罩，该反应罩由耐温、隔热并具有高透光性的材料整体制成，并在其顶面设有用于容纳温度测量装置的第一管和供气体进入的第二管。第二管通入到设置在反应罩内的多层孔板结构，第一管穿透多层孔板结构而通到反应罩内部。多层孔板结构至少包括分层排列的第一和第二孔板，第一和第二孔板上分别分布有构成第一和第二图案的多个孔。本实用新型的反应罩为氯气刻蚀烘烤设备提供合适的反应空间，以保证氯气刻蚀烘烤设备为金属有机化学气相沉积设备提供可重复利用的清洁石墨盘和刻蚀清洁的外延衬底片，从而在充分清洁石墨盘表面和外延衬底片的沉积物的同时，改善外延片的生长成品率和衬底片的重复利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 反应 | ||
【主权项】：
一种用于氯气刻蚀烘烤设备的反应罩（1），其特征在于，所述反应罩（1）由耐温、隔热并具有高透光性的材料整体制成，并且在其顶面（7）设有用于容纳温度测量装置的第一管（5）和供气体进入的第二管（6），所述第二管（6）通入到设置在所述反应罩（1）内的多层孔板结构，而所述第一管（5）穿透所述多层孔板结构而通到所述反应罩内部，所述多层孔板结构至少包括分层排列的第一孔板（8）和第二孔板（9），所述第一孔板（8）上分布有构成第一图案的多个孔，所述第二孔板（9）上分布有构成第二图案的多个孔。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于杭州士兰明芯科技有限公司，未经杭州士兰明芯科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201320054064.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
