[实用新型]反应罩

权利要求书

1.一种用于氯气刻蚀烘烤设备的反应罩（1），其特征在于，所述反应罩（1）由耐温、隔热并具有高透光性的材料整体制成，并且在其顶面（7）设有用于容纳温度测量装置的第一管（5）和供气体进入的第二管（6），所述第二管（6）通入到设置在所述反应罩（1）内的多层孔板结构，而所述第一管（5）穿透所述多层孔板结构而通到所述反应罩内部，所述多层孔板结构至少包括分层排列的第一孔板（8）和第二孔板（9），所述第一孔板（8）上分布有构成第一图案的多个孔，所述第二孔板（9）上分布有构成第二图案的多个孔。

2.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述耐温隔热材料为石英。

3.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述第一管（5）和所述第二管（6）由石英制成。

4.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述多层孔板结构为双层孔板结构。

5.如权利要求4所述的反应罩（1），其特征在于，所述第一孔板（8）和所述第二孔板（9）平行布置。

6.如权利要求4所述的反应罩（1），其特征在于，所述反应罩（1）的顶面（7）和所述第一孔板（8）之间的空间构成第一夹腔（10），所述第一孔板（8）和所述第二孔板（9）之间的空间构成第二夹腔（11）。

7.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述第一图案与所述第二图案不同。

8.如权利要求7所述的反应罩（1），其特征在于，所述第二图案中的任何一个孔与所述第一图案中的任何一个孔在垂直方向上是彼此错开的。

9.如权利要求8所述的反应罩（1），其特征在于，所述第二图案中的任何一个孔设置成与所述第一图案中的距离前述孔最近的四个孔的距离是相等的。

10.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述反应罩（1）的各个转角部由带弧度的圆角部（4）构成。

11.如权利要求1所述的反应罩（1），其特征在于，所述反应罩（1）具有六面体形状，其中，所述反应罩（1）的顶面和各个侧面制成一体，而所述反应罩（1）的底面由安装在所述侧面上的法兰面（12）构成。