[实用新型]真空镀膜传动机构的固定装置有效
申请号: | 201320051522.5 | 申请日: | 2013-01-30 |
公开(公告)号: | CN203080056U | 公开(公告)日: | 2013-07-24 |
发明(设计)人: | 王成雷;钟汝梅;张红 | 申请(专利权)人: | 安徽省蚌埠华益导电膜玻璃有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22;C23C16/44 |
代理公司: | 蚌埠鼎力专利商标事务所有限公司 34102 | 代理人: | 王琪 |
地址: | 233010 安徽省蚌*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空镀膜领域,具体是一种真空镀膜传动机构的固定装置,包括底座和法兰盘,底座安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,第一通孔的直径大于传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,固定螺杆的直径与传动机构的驱动轴的直径比为2:3~1:1,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径。本实用新型的固定装置能够起到很好的固定传动机构的作用,减小底座的晃动,并能保证密封件位置不变,起到密封效果。 | ||
搜索关键词: | 真空镀膜 传动 机构 固定 装置 | ||
【主权项】:
真空镀膜传动机构固定装置,包括底座和法兰盘,所述底座可安装在镀膜真空室的腔壁上,底座中心轴线上有可供传动机构的传动轴穿过的第一通孔,所述第一通孔的直径大于所述传动轴的直径;法兰盘通过固定螺杆固定在所述底座上,法兰盘上有可供传动机构的驱动轴穿过的第二通孔,所述第二通孔的直径大于所述驱动轴的直径,其特征在于:所述固定螺杆的直径与所述驱动轴的直径比为2:3~1:1。
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