[实用新型]用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置

摘要

本实用新型公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置，其包括与去离子水输送管和抛光液输送管连通的三通电磁阀、与三通电子阀输出管连通的流量计、与流量计连通的抛光液存储罐、设于抛光液存储罐上方的搅拌电机、由搅拌电机驱动的搅拌叶片、设于抛光液存储罐内的用于冷却的盘管、液位传感装置以及测温装置,抛光液存储罐通过输出管连通至待抛光材料；搅拌电机经由变频调速器控制，所述抛光液存储罐外部设有保温层。本实用新型通过流量计控制抛光液和去离子水的量来配比所需抛光液的浓度，搅拌电机将抛光液和去离子水混合均匀；本实用新型可自动配比抛光液浓度，并通过设置的测温装置来调节盘管内冷却液的温度，以保持温度的恒定。

主权项

一种用于化学机械抛光设备的抛光液供应装置，其特征在于：其包括与去离子水输送管（110）和抛光液输送管（111）连通的三通电磁阀（101）、与三通电子阀（101）输出管连通的流量计（102）、与流量计（102）经由管路连通的带有刻度的抛光液存储罐（106）、设于抛光液存储罐（106）上方的搅拌电机（103）、由搅拌电机（103）驱动的搅拌叶片（105）、设于抛光液存储罐（106）内的用于冷却的盘管（104）、上液位传感装置（107）、下液位传感装置（108）以及测温装置（109）,所述抛光液存储罐（106）通过输出管（112）连通至待抛光材料；所述搅拌电机（103）经由变频调速器（113）控制，所述抛光液存储罐（106）外部设有保温层。