[实用新型]一种防止边缘破裂的影像传感器

摘要

本实用新型涉及影像传感器制造领域，具体涉及一种防止边缘破裂的影像传感器。包括器件晶圆和载片晶圆,所述器件晶圆与载片晶圆键合在一起,所述器件晶圆边缘与载片晶圆边缘包裹有胶层,所述器件晶圆与载片晶圆键合边缘处设有伸至载片晶圆内的直角缺口，所述深入载片晶圆内直角缺口的缺口深度小于胶层的厚度，所述载片晶圆边缘的厚度为140微米至160微米，所述胶层的厚度为50微米至70微米。在使用本新型后，能使载片晶圆与器件晶圆牢固的键合在一起，通过载片晶圆的厚度来控制胶层的厚度，减小晶圆边缘破裂的几率，提高影像传感器的质量，通过包裹在晶圆边缘与载片晶圆边缘的胶层，能有效防止晶圆边缘破裂的问题。

主权项

一种防止边缘破裂的影像传感器,其特征是:包括器件晶圆和载片晶圆,所述器件晶圆与载片晶圆键合在一起,所述器件晶圆边缘与载片晶圆边缘包裹有胶层,所述器件晶圆与载片晶圆键合边缘处设有伸至载片晶圆内的直角缺口，所述深入载片晶圆内直角缺口的缺口深度小于胶层的厚度。