[实用新型]一种新型多晶硅铸锭去杂装置有效
申请号: | 201320011783.4 | 申请日: | 2013-01-10 |
公开(公告)号: | CN203065166U | 公开(公告)日: | 2013-07-17 |
发明(设计)人: | 金越顺;袁华中;朱伟锋;孟高祥;邢洁 | 申请(专利权)人: | 浙江精功科技股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 绍兴市越兴专利事务所 33220 | 代理人: | 蒋卫东 |
地址: | 312030 浙江省绍兴*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种新型多晶硅铸锭去杂装置,其包括真空炉体、隔热笼、抽气管以及软管;其中,所述真空炉体的顶部设有一慢抽口;所述隔热笼设置于真空炉体内,其内侧安装有保温板;所述抽气管一端通过一石墨螺栓固定在隔热笼的顶部,另一端与慢抽口连接;所述慢抽口和软管之间通过一转接头连接。本实用新型的新型多晶硅铸锭去杂装置通过设置抽气管,来促进热场内部的热量流动,一定程度加速硅锭内部的排杂,且适合于大硅锭去杂。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 多晶 铸锭 装置 | ||
【主权项】:
一种新型多晶硅铸锭去杂装置,其特征在于:包括真空炉体、隔热笼、抽气管以及软管;其中,所述真空炉体的顶部设有一慢抽口;所述隔热笼设置于真空炉体内,其内侧安装有保温板;所述抽气管一端通过一石墨螺栓固定在隔热笼的顶部,另一端与慢抽口连接;所述慢抽口和软管之间通过一转接头连接。
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