[发明专利]ITO线路线阻的测算方法有效
| 申请号： | 201310657326.7 | 申请日： | 2013-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN103605445A | 公开（公告）日： | 2014-02-26 |
| 发明（设计）人： | 任夫洋;黄孝宁;刘骥;沈效龙 | 申请（专利权）人： | 山东华芯富创电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G06F3/041 | 分类号： | G06F3/041 |
| 代理公司： | 济南泉城专利商标事务所 37218 | 代理人： | 丁修亭 |
| 地址： | 250102 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种ITO线路线阻的测算方法，其包括以下步骤：1）在基板上溅镀一层ITO后，测量ITO的方阻R方；2）在ITO上制作预定形状的单元线路；3）通过金相显微镜根据单元线路的预定形状扫描该预定形状各个组成部分在ITO上的纵横长度；4）根据方阻与线阻的换算籍由所述纵横长度直接计算出单元线路各个组成部分的电阻；5）累积单元线路各个组成部分的电阻得出单元线路的线阻。依据本发明可以降低人工使用万用表容易损伤ITO导电膜的风险，提高生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | ito 线路 测算 方法 | ||
【主权项】：
一种ITO线路线阻的测算方法，其特征在于，其包括以下步骤：1）在基板上溅镀一层ITO后，测量ITO的方阻R方；2）在ITO上制作预定形状的单元线路；3）通过金相显微镜根据单元线路的预定形状扫描该预定形状各个组成部分在ITO上的纵横长度；4）根据方阻与线阻的换算籍由所述纵横长度直接计算出单元线路各个组成部分的电阻；5）累积单元线路各个组成部分的电阻得出单元线路的线阻。
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