[发明专利]微型动态渗透水压力传感器

摘要

本发明公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本发明提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。

主权项

一种微型动态渗透水压力传感器，其特征在于：包括壳体（1）、由底板（21）和固定于底板（21）周向的侧板（22）组成的杯形基底（2）、不锈钢后盖（3）、透水石层（4）和信号调制放大模块（5），此壳体（1）内壁中部具有台阶圆环面（6），从而形成连通的前置腔（71）和后置腔（72），一凸缘（17）位于壳体外表面中部；所述杯形基底（2）内壁具有台阶面（23），一透水石层（4）安装于所述杯形基底（2）的台阶面（23）上，从而在所述透水石层（4）和杯形基底（2）的底部之间形成渗透水腔室（8）；所述杯形基底（2）嵌入所述前置腔（71）内并安装于所述壳体（1）的台阶圆环面（6）上；所述不锈钢后盖（3）安装于所述壳体（1）位于后置腔（72）的一端，氮化硅薄膜（9）覆盖于所述杯形基底（2）的内表面；所述渗透水腔室（8）的厚度为1~2mm，所述杯形基底（2）的底板（21）直径为4~6mm，所述透水石层（4）直径为3~5mm；所述杯形基底（2）与透水石层（4）相背的表面具有压力敏感组件（10），第一引线（11）跨接于所述压力敏感组件（10）和信号调制放大模块（5）一端之间，一信号缆（12）嵌入不锈钢后盖（3）的通孔（31）内并通过第二引线（13）连接到所述信号调制放大模块（5）另一端。