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[发明专利]一种带有PT电阻的MEMS硅压力传感器芯片及传感器-CN202310741045.3在审
发明人：王冰;万景川;杜奋豪;谢南南;郭鹏;周峰;毛超民;邹超;杨见欢 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2023-06-21 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种带有PT电阻的MEMS硅压力传感器芯片及传感器，该芯片包括：压敏膜片；其中，压敏膜片正面刻蚀呈环状均匀布置的2N个不连续的凹区；2N个不连续的凹区相邻间隙形成N个直梁；2N个不连续的凹区3围成的中间区域形成中心圆岛；N为正整数；同一直梁上对称布置四个压敏电阻；中心圆岛4集成有PT电阻。本发明采用在芯片正面结构上集成PT电阻的方式温度反应实时迅速、结果真实，能够解决在快速温度变化下传感器的温度补偿问题，有助于提升MEMS硅压力传感器的性能。
一种带有 pt 电阻 mems 压力传感器芯片传感器

[发明专利]一种带排沙功能的水流冲击压力传感器-CN202310680089.X在审
发明人：王冰;万景川;毛超民;郭鹏;谢南南;邹超;王泰昌;高杨 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2023-06-09 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种带排沙功能的水流冲击压力传感器，包括：传感器基座，传感器基座一侧中间开设有通道，另一侧向外延伸并在端部形成敞口；后盖，敞口安装后盖，并在内部形成安装空间，安装空间内对应通道位置密封安装传感器芯体，传感器芯体周围有固定于安装空间内壁上、且与其电性连接的电路板，电路板的电缆线经过后盖密封向外引出；防护帽，防护帽密封安装于通道内、与传感器芯体之间留有间隙区，且其朝向传感器芯体开设有多个进流通道，传感器基座对应间隙区开设有排沙通道。本发明在压力传感器膜片前端安装一个防水锤冲击带排沙功能的防护帽，减小了泥沙对传感器膜片的冲击，提高了传感器的测量准确性。
一种带排沙功能水流冲击压力传感器

[发明专利]一种小尺寸高精度温压复合传感器-CN202210666159.1在审
发明人：王冰;毛超民;郭鹏;万景川;谢南南;王泰昌;邹超;蔡益卓 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-09-09 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种小尺寸高精度温压复合传感器，包括测温部件、测压部件、连接组件和引出线缆；所述测温部件、所述测压部件固定于所述连接组件，并与所述连接组件电连接；所述测压部件为底部承压结构；所述连接组件连接所述引出线缆，本发明中采用底部承压的测压部件采与压力介质接触，避免了充油芯体中的金属波纹膜片与油液传递介质造成的压力滞后，解决了压力测量动态频响不足的问题。
一种尺寸高精度复合传感器

[发明专利]一种抗冰冻压力传感器-CN202010670808.6有效
发明人：王冰;毛超民;高扬;郭鹏;杨见欢;周峰 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2020-07-13 - 公布日： 2022-03-04 - 主分类号： G01L19/06 文献下载
摘要：本发明公开了一种抗冰冻压力传感器，包括管壳、传感器压力接头、孔隙导压挡板、耐低温凝胶层、压力传感器芯体、锁紧环和印制电路板；传感器压力接头安装在管壳入口处；孔隙导压挡板、耐低温凝胶层、压力传感器芯体、锁紧环和印制电路板依次从下到上设置于管壳内部；压力传感器芯体导线连接印制电路板。采用低温凝胶能够隔开被测介质和压力传感器芯体，并且其形态不受低温环境影响，能够有效传递被测介质压力。同时孔隙导压挡板设置有间隙槽和导压孔，能够在低温环境中测量水压力时，令水介质在孔隙导压挡板处凝固，避免对压力传感器芯片造成挤压，同时防止传感器压力接头内的水介质凝固推动挤压压力传感器芯片造成传感器损坏。
一种冰冻压力传感器

[发明专利]一种正弦压力液推装置及工作方法-CN202010657571.8有效
发明人：王冰;陈立国;薛立伟;周峰;郭鹏;毛超民;杨见欢;万景川 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： G01L27/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种正弦压力液推装置及工作方法，包括反馈式三相异步电机、弹性联轴器、液推装置和正弦压力发生装置；反馈式三相异步电机驱动弹性联轴器；弹性联轴器轴连正弦压力发生装置；液推装置安装在正弦压力发生装置顶部，正弦压力发生装置内设置油腔，油腔内设置压力传导薄膜，通过液推装置向油腔充满油液后，正压力弦发生装置产生的正弦气压传到压力传导薄膜进而产生振动，挤压油腔中的油液，通过油液传送到压力传感器进而测得压力，在油腔底部的压力传导薄膜上方还设置有限位凹槽，来保护压力传导薄膜在装置发生漏液等情况时不受损坏。本发明能有效避免误操作造成装置损坏，同时具有小巧、动态频率高、脉动幅值大、信噪比好的优点。
一种正弦压力装置工作方法

[发明专利]风载荷传感节点装置及其工作状态管控方法-CN201410177859.X有效
发明人：王冰;王文襄;许海燕;毛超民;马明鸿;孙晋玲 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2014-04-29 - 公布日： 2019-01-08 - 主分类号： H04W52/02 文献下载
摘要：一种风载荷传感节点装置包括用于测量建筑物风载荷监测数据的风载荷压力传感器模块、用于处理监测数据的数据管理控制模块以及通过ZigBee无线传感器网络传送检测数据和数据控制指令的ZigBee射频收发模块，该节点装置可执行两种工作模式：一是最低功耗休眠模式，就是如果没有收到休眠唤醒指令，风载荷传感节点一直处于最低功耗休眠模式，定时器唤醒失效；二是定时休眠模式，就是只要定时器定时时间到就自动唤醒，但也可以通过发送数据控制指令重新设置风载荷传感节点的休眠模式，该方法采用自动休眠唤醒实时工作算法，对传感节点的工作和休眠进行有效的管控，节省网络开销和降低功耗，提高传感节点的工作效率和寿命，有效地管控风载荷传感节点。
载荷传感节点装置及其工作状态方法

[发明专利]基于WIFI节点型压力传感器及其工作状态管控制方法-CN201410184513.2有效
发明人：王冰;王文襄;许海燕;魏辉民;郭鹏 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2017-07-04 - 主分类号： G01L1/00 文献下载
摘要：一种基于WIFI节点型压力传感器包括供电模块、MSP430控制模块、触发器模块、FPGA控制模块、高速缓存单元、FLASH存储单元、WIFI射频模块、USB模块、高频动态压力传感器、采集模块、信号调理模块，数据接收服务器和WIFI无线路由器，WIFI射频模块与数据接收服务器通过WIFI无线路由器连接，该节点型压力传感器工作状态管控方法为执行三种工作模式一是最低功耗休眠模式；二是定时中断模式，由定时器自动唤醒，并判断是否为可执行数据控制指令，是否发送数据；三是外部中断模式，判断是否可执行采集数据，本发明采用该传感器及其方法，数据采集精度高，数据存储安全可靠，传输速度快，而且功耗低。
基于 wifi 节点压力传感器及其工作状态控制方法

[发明专利]智能型膀胱排尿康复装置及其监测排尿方法-CN201310552564.1在审
发明人：王冰 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-11-08 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： A61M1/00 文献下载
摘要：一种智能型膀胱排尿康复装置安装于留置尿管与尿袋之间，包括三通连接器、挤压型电磁阀、压力传感器和控制器，该三通连接器具有内腔室，并设有连通该内腔室的进口端、出口端和检测端，进口端通过导尿管连通该留置尿管，检测端通过毛细管连通该压力传感器，出口端通过排尿管连通尿袋；毛细管中部还设有便于隔离尿液与空气的空气滤芯，挤压型电磁阀具有能控制排尿管张开的机械开关，控制器能根据该压力传感器输出的尿液压力控制挤压型电磁阀开启或关闭,一种利用所述智能型膀胱排尿康复装置的监测排尿方法，通过导尿管中尿液测量膀胱压力，进而控制导尿管的开闭，实现自动控制排尿的功能，且具有方便卫生、无菌、无污染、免清洗的优点。
智能型膀胱排尿康复装置及其监测方法

[实用新型]用于压阻式压力传感器的敏感元件-CN201320761370.8有效
发明人：程新利;唐运海;沈娇艳;王冰;秦长发;潘涛;臧涛成;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开一种用于压阻式压力传感器的敏感元件，包括杯形衬底、金属电极层、二氧化硅隔离层，此二氧化硅隔离层与圆形基底层相背的表面设有至少四条掺硼P型微晶硅条；第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成，金属电极层包括输入电极区、输出电极区和中间电极区，输入电极区一端连接到第一掺硼P型微晶硅条一端，输出电极区一端连接到第二掺硼P型微晶硅条一端，中间电极区两端分别连接到相邻所述第一、第二掺硼P型微晶硅条各自的另一端。本实用新型既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性；且电阻率一致性好，能够提高压力传感器的信号线性度，高的响应频率且能提高产品的成品率。
用于压阻式压力传感器敏感元件

[实用新型]微型动态渗透水压力传感器-CN201320798587.6有效
发明人：唐运海;沈娇艳;程新利;王冰;秦长发;潘涛;臧涛成;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2014-05-14 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本实用新型提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
微型动态渗透水压传感器

[发明专利]微型动态渗透水压力传感器-CN201310653653.5有效
发明人：唐运海;沈娇艳;程新利;王冰;秦长发;潘涛;臧涛成;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-12-06 - 公布日： 2014-03-26 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：本发明公开一种微型动态渗透水压力传感器，包括壳体、杯形基底、不锈钢后盖、透水石层和信号调制放大模块；杯形基底内壁具有台阶面，一透水石层安装于所述杯形基底的台阶面上；杯形基底嵌入所述前置腔内并安装于所述壳体的台阶圆环面上；不锈钢后盖安装于所述壳体位于后置腔的一端，氮化硅薄膜覆盖于所述杯形基底的内表面；杯形基底与透水石层相背的表面具有压力敏感组件，第一引线跨接于所述压力敏感组件和信号调制放大模块一端之间，一信号缆嵌入不锈钢后盖的通孔内并通过第二引线连接到所述信号调制放大模块另一端。本发明提高压力传感器的动态频响和测量精度，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
微型动态渗透水压传感器

[发明专利]压力传感器敏感元件的制造工艺-CN201310613099.8有效
发明人：程新利;唐运海;沈娇艳;王冰;秦长发;潘涛;臧涛成;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-11-27 - 公布日： 2014-02-26 - 主分类号： H01L29/84 文献下载
摘要：本发明公开一种压力传感器敏感元件的制造工艺，其第一、第二掺硼P型微晶硅条为由若干根沿径向排列的微晶硅电阻丝首尾连接组成；在杯形衬底附近通入高纯氧气与氩气的混合气体，混合气体氧气氩气体积比为1：13，总气压大小为Pa，在250℃温度下，用加速能量为2000eV的氩离子束轰击99.95%的二氧化硅靶材，沉积厚度1～5μm作为绝缘隔离层的二氧化硅隔离层；以电阻率为Ω﹒m掺硼硅为靶材，在高纯氩气的气氛中，用离子束溅射方法，生长温度为300℃，通过覆盖第一掩模板在二氧化硅隔离层上制备出厚度为1～5μm掺硼P型微晶硅条。本发明敏感层薄膜附着力强，既大大提升了量程，又提高了感应的精度和灵敏性，且提高了压力传感器的信号线性度。
压力传感器敏感元件制造工艺

[实用新型]压阻式高频动态土应力传感器-CN201320069752.4有效
发明人：沈娇艳;唐运海;程新利;王冰;秦长发;潘涛;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-02-06 - 公布日： 2013-09-25 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压阻式高频动态土应力传感器，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本实用新型的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。
压阻式高频动态应力传感器

[发明专利]压阻式高频动态土应力传感器及制备方法-CN201310046809.3有效
发明人：沈娇艳;唐运海;程新利;王冰;秦长发;潘涛;王文襄 -专利权人：苏州科技学院;昆山双桥传感器测控技术有限公司
申请日： 2013-02-06 - 公布日： 2013-06-26 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种压阻式高频动态土应力传感器及制备方法，传感器包括传感器壳体（7）、应力敏感组件、信号调理放大电路（11）和引出电缆（13），所述应力敏感组件包括基底（1）—绝缘隔离层（2）—应变电阻（3）—绝缘保护层（5）构成的结构；且所述应力敏感组件通过高硼硅玻璃（6）封接于传感器壳体（7）前端的固支台阶（18）。本发明的传感器敏感组件集成有应变电阻（3）和调整电阻（19），有效减小体积，简化了加工工艺，降低制作成本，容易实现大批量生产，提高了产品性价比和市场竞争力。
压阻式高频动态应力传感器制备方法

[发明专利]微型动态压阻压力传感器及其制造方法-CN201010213015.8无效
发明人：王文襄 -专利权人： 昆山双桥传感器测控技术有限公司;王文襄
申请日： 2010-06-23 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：一种微型动态压阻压力传感器的制造方法为用MEMS硅体微机械加工方法制造微型压力敏感芯片，芯片为E型硅杯力敏结构；芯片背面与Pyrex或GG-17玻璃环片焊接形成压力敏感组件；玻璃环裸露面粘接在外周面设有花键槽的瓷管上端，花键槽设有焙银电极；压力敏感组件的电引出是在该芯片正面内压焊点焊上金丝内引线，内引线另一端焊接到焙银电极上端；外引线焊接到焙银电极下端；将压力敏感组件装入传感器外管并密封粘合；传感器外管顶端焊接顶盖，对应芯片的顶盖中心设有一个小孔；引出外引线的微型电缆和连通芯片的背压腔的微型导气管用注塑元件固定，再粘结到传感器外管底端，所制造的微型传感器具有很强抗光和抗电磁干扰性、防护破坏性撞击。
微型动态压力传感器及其制造方法

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