[发明专利]一种多功能真空镀膜机转架有效
| 申请号： | 201310632160.3 | 申请日： | 2013-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN103590006A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 林锡强;钟雷;徐路;陈伟;郎文昌;刘伟 | 申请（专利权）人： | 上海沃家真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人： | 何葆芳 |
| 地址： | 201600 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多功能真空镀膜机转架，其包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分，所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮、下齿轮、支撑单元、外啮合齿和锁定部件，所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接；所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆，所述下齿轮还设置有内啮合齿，每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。本发明不仅可实现工件的定点转动，而且可任意指定靶基距，并保证工件的行星转动和自转，还可实现大公转、行星转动和自转三种转动方式的单独或任意自由搭配使用，可满足真空镀膜机的多种使用目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多功能 真空镀膜 机转架 | ||
【主权项】：
一种多功能真空镀膜机转架，包括主架体部分、传动部分以及工件转动部分，所述工件转动部分能够通过所述传动部分驱动而转动，其特征在于：所述主架体部分包括沿上下方向依次平行对置的顶板、上齿轮以及下齿轮，所述上齿轮和所述下齿轮通过支撑单元支撑，并且，所述上齿轮和所述下齿轮均具有用于通过驱动装置驱动从而使得所述上齿轮或下齿轮转动的外啮合齿，所述支撑单元上设置有用以选择性地锁定所述上齿轮或所述下齿轮的锁定部件，所述上齿轮与所述顶板之间通过多个连接杆连接；所述传动部分包括多个通过轴承与所述顶板及所述上齿轮连接的传动杆，所述下齿轮还设置有内啮合齿，每个所述传动杆延伸至所述上齿轮下方并设置有与所述内啮合齿相啮合的下传动齿轮。
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