[发明专利]一种TFT-LCD制程的MURA视觉自动检测方法及装置

摘要

本发明公开了一种TFT-LCD制程的MURA视觉自动检测装置，它包括固定装置、CCD摄像装置、镜头以及方格角标准图，所述固定装置设置有被测物固定治具，所述方格角标准图铺设于所述被测物固定治具上表面，所述CCD摄像装置安装于所述固定装置上，并设置于所述被测物固定治具上方，所述镜头设置于所述CCD摄像装置上，所述CCD摄像装置通过连接线与计算机上设置的运算卡连接。本发明能兼容运行不同环境对不同类型大小的TFT-LCD制程的MUAR进行识别处理，并实现智能检测，节约人力资本。

主权项

一种TFT‑LCD制程的MURA视觉自动检测方法，其特征在于，它包括图像准备过程：1）将待测物置于方格角标准图上，通过方格角标准图的方格角交点进行待测物与取像设备的平行测定；2）使待测物的背景为纯色灰度图，同时设定取像设备的光圈为中间值，并调整曝光时间，使纯色灰度图的平均灰度为110‑140之间；3）调整取像设备的焦距，采用基于方格角标准图的对焦自动判定方法，实现自动对焦的判定；4）将获得的灰度图像数据传输至计算机，通过自动寻边算法，检测出待测物的边缘；以及，图像识别过程：5）通过计算机内置的低通滤波器对灰度图像信号进行处理，去除灰度图像中的摩尔纹；6）将灰度图像分成边缘部分以及中心部分；7）将中分开后的灰度图像边缘部分或中心部分分成复数个小块图像；8）对步骤7）中的小块图像进行二维曲线拟合；9）将小块图像二维曲线拟合的结果与标准小块图像进行比较，若，差别超过一个阙值，则该小块图像存在缺陷。