[发明专利]太阳能电池抛光工艺

摘要

本发明涉及一种太阳能电池抛光工艺，属于太阳能光伏电池制造技术领域。主要特点是电解液采用10~35%浓度的HF溶液，阳极电极直接植入滚轮上，阳极电极和槽体内的阴极电极接电源，电流控制在不大于10A，电压控制在不大于36V，通过滚轮带液的方式对硅片背面进行抛光处理，滚轮带液转动的时候阳极电极可与硅片接触，从而使硅片形成阳极。本发明工艺较HF/HNO3单面刻蚀抛光效果要好，不仅工艺容易控制，而且由于通入电流增强了化学反应强度，与不通电流工艺相比达到相同刻蚀效果，使用更少的化学药液量，所以也节约了化学药液的使用量，降低电池工艺成本。

主权项

一种太阳能电池抛光工艺，包括槽体和槽体内的电解液，其特征是，所述的电解液采用10~35% 浓度的HF溶液，阳极电极直接植入滚轮上，阳极电极和槽体内的阴极电极接电源，电流控制在不大于10A, 电压控制在不大于36V,通过滚轮带液的方式对硅片背面进行抛光处理，滚轮带液转动的时候阳极电极可与硅片接触，从而使硅片形成阳极。