[发明专利]一种超纯磷烷的分析方法及其装置无效
| 申请号： | 201310583161.3 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN103645253A | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 李英辉;朱颜;王陆平;马潇;许从应;王仕华;王智 | 申请（专利权）人： | 苏州丹百利电子材料有限公司 |
| 主分类号： | G01N30/02 | 分类号： | G01N30/02 |
| 代理公司： | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人： | 王玉国;陈忠辉 |
| 地址： | 215021 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及超纯磷烷的分析方法及装置，取样：采用等压进样方式，伴随大流量吹扫置换取样，将超纯磷烷以0.05～0.15MPa、60～120mL/min的流量置换定量管，确保快速检出杂质浓度变化，并能在很短的时间内给出平衡的分析值；分离痕量杂质：将上述取样后的待测样品气用20～50mL/min流量的载气送入分离系统进行分离痕量杂质；检测：将经过分离痕量杂质的待测样品气输入检测器得出分析结果。通过防腐防吸附处理的高气密性管路系统、大流量置换吹扫、等压进样以及三阀三柱切割反吹气路系统使超纯磷烷中的痕量杂质得以分离，并用直流放电氦离子化检测器分析杂质气体。能在很短的时间内给出平衡的分析值，定量准确。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 超纯磷烷 分析 方法 及其 装置 | ||
【主权项】：
一种超纯磷烷的分析装置，其特征在于：包括预分离柱、第一分析柱、第二分析柱、十通阀、六通阀和四通阀，十通阀的其中两端口分别与定量管的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与预分离柱的进口和出口相连，十通阀的其中两端口分别与进气管路相连，十通阀的其中两端口分别与载气管路相连，十通阀的其中一端口与放空管路相连，十通阀的其中一端口与六通阀的其中一端口相连，六通阀的其中两端口分别与载气管路相连，六通阀的其中一端口与放空管路相连，六通阀的其中一端口与第一分析柱相连，第一分析柱与四通阀的其中一端口相连，六通阀的其中一端口与第二分析柱相连，第二分析柱与四通阀的其中一端口相连，四通阀的其中一端口与DID检测器相连，四通阀的其中一端口与放空管路相连。
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