[发明专利]一种微桥结构及其制备方法有效
| 申请号： | 201310582851.7 | 申请日： | 2013-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN104649213A | 公开（公告）日： | 2015-05-27 |
| 发明（设计）人： | 陈学枝;黄新龙;沈憧棐 | 申请（专利权）人： | 上海巨哥电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B81B3/00 | 分类号： | B81B3/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京汉昊知识产权代理事务所(普通合伙) 11370 | 代理人： | 罗朋;周建华 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明的目的是提供一种微桥结构及其制备方法。具体地，该微桥结构包括衬底、主体桥面，以及第一悬梁臂与第二悬梁臂，用于支撑主体桥面悬于衬底上方；第一连接柱连接衬底与第一悬臂梁；第二连接柱连接衬底与第二悬梁臂；其中，第一悬臂梁与第二悬梁臂分别由第一双材料梁、第二双材料梁及绝热梁组成，第一双材料梁与第二双材料梁分别由热膨胀系数不同的两组薄膜以相同顺序叠合而成。与现有技术相比，本发明中微桥结构的双材料梁均由热膨胀系数不同的两组薄膜以相同顺序叠合而成，使得当微桥结构的主体桥面和衬底的温度发生相同变化时，第一双材料梁与第二双材料梁均发生形变，但互相抵消，实现了由衬底温度变化所可能引起的形变的自补偿。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微桥结构，包括：衬底、主体桥面，以及：第一悬梁臂与第二悬梁臂，用于支撑所述主体桥面悬于所述衬底上方，使得所述主体桥面与所述衬底相分离；第一连接柱，用于连接所述衬底与所述第一悬臂梁；第二连接柱，用于连接所述衬底与所述第二悬梁臂；其中，所述第一悬臂梁与所述第二悬梁臂分别由第一双材料梁、第二双材料梁及用于连接所述第一双材料梁与所述第二双材料梁的绝热梁组成，所述第一双材料梁与所述第二双材料梁分别由热膨胀系数不同的两组薄膜以相同顺序叠合而成，所述第一双材料梁通过所述第一连接柱与所述衬底连接并保持热导通，所述第二双材料梁与所述主体桥面相连接并保持热导通。
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