[发明专利]用于高效抽除小分子量气体的真空系统在审
| 申请号： | 201310567079.1 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104632629A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 孔祥玲;王光玉;雷震霖;张振厚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C23/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制备过程、LED制备过程中的真空系统，具体地说是一种用于高效抽除小分子量气体的真空系统。包括控制器、一级真空泵和二级真空泵，其中一级真空泵和二级真空泵连接、并一级真空泵和二级真空泵均与控制器连接，所述一级真空泵与工艺真空腔体连接。所述二级真空泵为多个，多个二级真空泵并联后与一级真空泵连接。本发明在单位时间内可携带更多的小分子量气体，减少小分子量气体的返流，从而高效抽除小分子量气体。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高效 分子量 气体 真空 系统 | ||
【主权项】：
一种用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：包括控制器、一级真空泵(2)和二级真空泵(3)，其中一级真空泵(2)和二级真空泵(3)连接、并一级真空泵(2)和二级真空泵(3)均与控制器连接，所述一级真空泵(2)与工艺真空腔体连接。
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