[发明专利]用于高效抽除小分子量气体的真空系统在审
| 申请号： | 201310567079.1 | 申请日： | 2013-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN104632629A | 公开（公告）日： | 2015-05-20 |
| 发明（设计）人： | 孔祥玲;王光玉;雷震霖;张振厚 | 申请（专利权）人： | 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司 |
| 主分类号： | F04C25/02 | 分类号： | F04C25/02;F04C23/00 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 高效 分子量 气体 真空 系统 | ||
1.一种用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：包括控制器、一级真空泵(2)和二级真空泵(3)，其中一级真空泵(2)和二级真空泵(3)连接、并一级真空泵(2)和二级真空泵(3)均与控制器连接，所述一级真空泵(2)与工艺真空腔体连接。
2.按权利要求1所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述二级真空泵(3)为多个，多个二级真空泵(3)并联后与一级真空泵(2)连接。
3.按权利要求2所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述一级真空泵(2)为罗茨真空泵，所述二级真空泵(3)为多级干式真空泵。
4.按权利要求3所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述多级干式真空泵为由罗茨和爪式转子组合的多级泵。
5.按权利要求3所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述每个多级干式真空泵的转速均在3000rpm以上，且抽速一致。
6.按权利要求3所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述多级干式真空泵的总抽速与罗茨真空泵的抽速比大于1：5。
7.按权利要求3所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述的罗茨真空泵与各多级干式真空泵间用柔性连接件(4)连接。
8.按权利要求1或2所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述一级真空泵(2)的进气口安装有真空计(1)，所述真空计(1)与控制器连接。
9.按权利要求8所述的用于高效抽除小分子量气体的真空系统，其特征在于：所述一级真空泵(2)的转速在0～6000rpm范围内调节。
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