[发明专利]一种手动对准的三自由度微动角位台

摘要

一种手动对准的三自由度微动角位台，包括底座、台面、固定台、连接台、分厘卡、角度倾斜板和铰接钢片，所述底座包括Z向底座和XY向底座；所述固定台包括Z向固定台和XY向固定台，所述Z向固定台安装在Z向底座上，所述XY向固定台安装在XY向底座上；所述连接台包括第一连接台与第二连接台,本装置适用于集成光子芯片与阵列光纤手动对准的机械装置，它巧妙利用钢片支撑、分厘卡微调的方式达到平台在X轴、Y轴和Z轴的微动角位移。本发明结构布局合理，使用简单方便，运动范围大，调节精度高,可以稍作调整用于各种不同的高精度。

主权项

一种手动对准的三自由度微动角位台，其特征在于，包括底座（1）、台面（2）、固定台（3）、连接台（4）、分厘卡（6）、角度倾斜板（7）和铰接钢片（8），所述底座（1）包括Z向底座（111）和XY向底座（112）；所述固定台（3）包括Z向固定台（31）和XY向固定台（32），所述Z向固定台（31）安装在Z向底座（111）上，所述XY向固定台（32）安装在XY向底座（112）上；所述连接台（4）包括第一连接台（41）与第二连接台（42）；所述角度倾斜板（7）包括第一角度倾斜板（71）、第二角度倾斜板（72）、第三角度倾斜板（73）、第四角度倾斜板（74）第五角度倾斜板（75）和第六角度倾斜板（76），所述第一角度倾斜板（71）和第二角度倾斜板（72）沿Z轴对称设置在第一连接台（41）的两侧，所述第一角度倾斜板（71）和第二角度倾斜板（72）的一端通过铰接钢片（8）固定在Z向固定台（31）上，另一端通过铰接钢片（8）将第一连接台（41）的支撑端固定，所述第三角度倾斜板（73）和第四角度倾斜板（74）沿X轴对称设置在所述第二连接台（42）的两侧，所述第三角度倾斜板（73）和第四角度倾斜板（74）的一端通过铰接钢片（8）固定在XY向固定台（32）上，另一端通过铰接钢片（8）将第二连接台（42）的支撑端固定，所述第五角度倾斜板（75）和所述第六角度倾斜板（76）沿Y轴对称设置在XY向底座（112）的两侧，所述第五角度倾斜板（75）和所述第六角度倾斜板（76）的一端通过铰接钢片（8）固定在XY向底座（112）上，另一端通过铰接钢片（8）固定在台面（2）下方；所述第二连接台（42）固定在所述第一连接台（41）上；所述分厘卡（6）包括第一分厘卡（61）、第二分厘卡（62）和第三分厘卡 （63）；所述第一分厘卡（61）安装在Z向底座（111）上，并且所述第一分厘卡（61）的活动端与所述第一连接台（41）的活动端连接，所述第一分厘卡（61）推动所述第一连接台（41）绕Y轴旋转，所述第二分厘卡（62）安装在XY向底座上，并且所述第二分厘卡（62）的活动端与所述第二连接台（42）的活动端连接，所述第二连接台（42）推动所述第二连接台（42）绕Z轴旋转，所述第三分厘卡（63）的活动端与所述台面（2）的活动端连接，所述第三分厘卡（63）推动所述台面（2）绕X轴旋转。