[发明专利]一种网格化的多晶硅微纳加工装置及方法

摘要

本发明公开了一种网格化的多晶硅微纳加工装置及方法。目前制备多晶硅太阳电池的减反射层效果欠佳。本发明中超声波发生器控制器的输出端通过换能器与变幅杆的尾部螺纹连接，变幅杆的头部与平面超声工具头的尾部螺纹连接；每个平面超声工具头的头部均伸入反应观察室内；反应观察室与每个平面超声工具头相对的内侧壁处分别固定设置有一块声波反射板；反应容器设置在反应观察室内。本发明的多晶硅微纳加工方法步骤为：将混合酸液注入反应容器，驱动平面超声工具头形成超声驻波，将多晶硅材料放入反应容器中进行制备，制备完后置于去离子溶液中清洗，封装。本发明可提高多晶硅表面减反效果，从而提高多晶硅光伏电池光电转化效率。

主权项

1. 一种网格化的多晶硅微纳加工装置，包括控制装置、平面超生发生装置和反应装置，其特征在于：所述的控制装置包括多个超声波发生器控制器和摄像机，每个超声波发生器控制器的输入端及摄像机均与电脑连接；摄像机的摄像头朝向反应装置；所述的平面超生发生装置包括换能器、变幅杆、平面超声工具头；每个超声波发生器控制器的输出端与一个换能器的尾部连接，每个换能器的头部与一个变幅杆的尾部螺纹连接，每个变幅杆的头部与一个平面超声工具头的尾部螺纹连接；所述的反应装置包括反应观察室、声波反射板和反应容器；所述的反应观察室为透明的密闭容器，每个平面超声工具头的头部均伸入反应观察室内；反应观察室与每个平面超声工具头相对的内侧壁处分别固定设置有一块声波反射板；所述的反应容器设置在反应观察室内，且设置在平面超声工具头与声波反射板之间；所述声波反射板与平面超声工具头的距离为，其中，n为平面超声工具头的个数，取值为2～4，为超声在液体中的波长；，其中，为超声在液体中的速度，为使用的超声频率，取值范围为40KHz～1MHz，超声功率为500～1000W。