[发明专利]一种多晶硅逆向凝固装置及方法有效
| 申请号： | 201310530845.7 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103553052A | 公开（公告）日： | 2014-02-05 |
| 发明（设计）人： | 谭毅;任世强;石爽;姜大川;李鹏廷 | 申请（专利权）人： | 大连理工大学 |
| 主分类号： | C01B33/037 | 分类号： | C01B33/037 |
| 代理公司： | 大连东方专利代理有限责任公司 21212 | 代理人： | 赵淑梅;李馨 |
| 地址： | 116024 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种多晶硅逆向凝固装置及方法，属于多晶硅生产领域。一种多晶硅逆向凝固装置，包括炉体、真空系统、充气系统、定向凝固熔炼系统、顶部升降机构、底部升降机构，所述顶部升降机构包括顶部升降旋转装置，顶部升降旋转装置的下端固定顶部连接杆，顶部连接杆的另一端固定籽晶盘；所述顶部升降旋转装置位于炉体的外部，所述顶部连接杆穿过炉体的上表面；所述籽晶盘位于定向凝固熔炼系统中硅液承装装置的上方。本设备和方法，保证硅由顶部向下凝固，当凝固后期富集杂质硅液不再进行定向凝固，抑制反扩散同时提高生产效率和产品的出成率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 逆向 凝固 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种多晶硅逆向凝固装置，包括炉体（400）、真空系统、充气系统、定向凝固熔炼系统、顶部升降机构、底部升降机构，所述顶部升降机构包括顶部升降旋转装置（101），顶部升降旋转装置（101）的下端固定顶部连接杆（102），顶部连接杆（102）的另一端固定籽晶盘（103）；所述顶部升降旋转装置（101）位于炉体（400）的外部，所述顶部连接杆（102）穿过炉体（400）的上表面；所述籽晶盘（103）位于定向凝固熔炼系统中硅液承装装置（202）的上方。
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