[发明专利]铝靶材组件的焊接方法在审
| 申请号： | 201310530629.2 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104588896A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;赵凯;相原俊夫;大岩一彦;潘杰;王学泽;袁海军 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K31/02 | 分类号： | B23K31/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 张亚利;骆苏华 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供一种铝靶材组件的焊接方法，包括：提供铝靶材、铝背板和钛中间层；将所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于真空包套内并使所述钛中间层与所述铝靶材的待焊接面、铝背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述铝靶材、钛中间层、铝背板焊接在一起以形成铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述铝靶材组件。通过本发明的焊接方法，可以实现铝靶材与铝背板之间的焊接，并且焊接效率较高，形成的铝靶材组件的焊接强度较高、变形量小，能够满足长期稳定生产和使用靶材的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 铝靶材 组件 焊接 方法 | ||
【主权项】：
一种铝靶材组件的焊接方法，其特征在于，包括以下步骤：提供铝靶材、铝背板和钛中间层；将所述铝靶材、钛中间层、铝背板置于真空包套内并使所述钛中间层与所述铝靶材的待焊接面、铝背板的待焊接面贴合；利用热等静压工艺将所述铝靶材、钛中间层、铝背板焊接在一起以形成铝靶材组件；焊接完成后，对所述真空包套进行冷却，去除所述真空包套以获得所述铝靶材组件。
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