[发明专利]涂胶喷嘴分布装置和方法在审
| 申请号： | 201310526298.5 | 申请日： | 2013-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN104597714A | 公开（公告）日： | 2015-05-06 |
| 发明（设计）人： | 王阳 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 何丽英 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体匀胶显影设备中涂胶喷嘴的技术领域，具体地说是一种涂胶喷嘴分布装置和方法。所述装置包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯及涂胶平台，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯均设置于涂胶平台上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯的相邻两侧，所述喷嘴系统中的涂胶喷嘴通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯圆心的直线上运动。本发明多个喷嘴更换时避免由于胶嘴和其携带的胶管在使用中互相干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 涂胶 喷嘴 分布 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种涂胶喷嘴分布装置，其特征在于：包括喷嘴系统、喷嘴拾取装置、胶杯(4)及涂胶平台(8)，其中喷嘴系统、喷嘴拾取装置及胶杯(4)均设置于涂胶平台(8)上，所述喷嘴系统和喷嘴拾取装置分别设置于胶杯(4)的相邻两侧，所述喷嘴系统中的各涂胶喷嘴(1)通过喷嘴拾取装置沿通过胶杯(4)圆心的直线上运动。
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