[发明专利]包括HfO2应力缓冲体的压电元件的制造方法

摘要

本发明公开了一种压电元件的制造方法，包括如下步骤：以PZT作为主要成分浆料印刷形成坯片；将电极图案用的浆料印刷在坯片上；将HfO2浆料印刷在坯片上面中没有印刷有电极图案的区域，形成HfO2浆料层；将形成有电极图案和HfO2浆料层的坯片层叠，形成坯层叠体；对其加热的同时进行压制，然后切断；对其进行脱脂处理后进行烧结，得到作为烧结体的层叠体；并在层叠体的侧面上形成外部电极；最后进行极化处理，得到压电元件。根据该方法制得的压电元件具有优良的压电特性，并且能够防止压电元件在层叠体的层叠方向上延伸的裂缝。

主权项

一种包括HfO2应力缓冲体的压电元件的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：首先，准备将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于以PZT作为主要成分的陶瓷粉体中的坯片用的浆料；然后，将坯片用的浆料涂布在载体薄膜上，形成坯片；然后，制作将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于导电材料中的电极图案用的浆料，将电极图案用的浆料印刷在坯片上，将电极图案印刷在坯片上面中除去对应于非形变部分的一端侧部分的区域上；然后，制作将有机粘合剂树脂以及有机溶剂等混合于含有HfO2的陶瓷粉体中的HfO2浆料；将HfO2浆料印刷在坯片上面中没有印刷有电极图案的区域，形成HfO2浆料层；然后，将形成有电极图案和HfO2浆料层的坯片层叠；形成坯层叠体；然后，对坯层叠体加热的同时在层叠方向上对其压制加工，之后，将该坯层叠体切断；然后，将切断的坯层叠体装载于装定器进行脱脂处理；然后，将脱脂后的坯层叠体放入耐火粘土炉内进行烧结，得到作为烧结体的层叠体；然后，在层叠体的侧面上形成外部电极；最后，对压电体进行极化处理，得到压电元件。