[发明专利]具备同轴驱动取放架的检测机台在审
| 申请号： | 201310495324.2 | 申请日： | 2013-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN104425307A | 公开（公告）日： | 2015-03-18 |
| 发明（设计）人： | 黄瑞楠 | 申请（专利权）人： | 致茂电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 中国台湾桃园县龟*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具备同轴驱动取放架的检测机台，包括：X、Y轴移载机构；立板；驱动齿轮；以及两个L型取放架。其中立板组设于X、Y轴移载机构上，驱动齿轮设置于立板上，两个L型取放架分别设置在驱动齿轮的两侧并与立板连接且可相对滑移，每个L型取放架包括啮合于驱动齿轮上的齿条。其中，当驱动齿轮转动时，两个L型取放架受其驱动而分别上升和下降。据此，本发明的检测机台能在一次的移载过程中，同时处理进料和出料，能大幅缩短芯片的移载时间，并且检测装置或移载装置均无闲置的等待时间，可显著提高检测效率。 | ||
| 搜索关键词： | 具备 同轴 驱动 取放架 检测 机台 | ||
【主权项】：
一种具备同轴驱动取放架的检测机台，包括：X、Y轴移载机构，其组设于所述检测机台上；立板，其组设于所述X、Y轴移载机构上；驱动齿轮，其设置于所述立板上；以及两个L型取放架，其分别设于所述驱动齿轮的两侧，并与该立板连接而可被导引作相对滑移，每个L型取放架包括齿条，所述齿条与所述驱动齿轮相啮合；其中，当所述驱动齿轮转动而驱动齿条时，连动所述两个L型取放架分别进行上升和下降。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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