[发明专利]一种大掩模版整形装置和方法

摘要

本发明提供一种大掩模版整形装置和方法，包括：大掩模版、承版台、若干组垂向提升机构和若干组测量装置；其中，所述大掩模版固定在所述承版台上；所述测量装置将测量的大掩模版的位置信号反馈于对应的所述垂向提升机构；所述垂向提升机构依据反馈信号调节所述大掩模版的垂向位置。本发明通过垂向提升机构和测量装置对大掩模版进行整形，实现大掩模版垂向变形量的实时闭环控制，有效保证了大掩模版的整形效果，解决了因大掩模版自重变形所导致的成像质量问题，且本发明结构简单，操作便捷。

主权项

1.一种大掩模版整形装置，其特征在于，包括：大掩模版、承版台、若干组垂向提升机构和若干组测量装置；其中，所述大掩模版固定在所述承版台上；所述测量装置将测量的大掩模版的位置信号反馈于对应的所述垂向提升机构；所述垂向提升机构依据位置反馈信号调节所述大掩模版的垂向位置；所述垂向提升机构包括：驱动装置、轴杆、柔性装置、气浮轴承和轴套；其中，所述驱动装置包括：驱动装置定子和驱动装置动子；所述驱动装置定子和所述轴杆分别固定在一支座上；所述驱动装置动子与所述轴套固定连接；所述轴杆和所述轴套之间形成导向装置；所述柔性装置一端与所述轴套连接，另一端与所述气浮轴承连接；所述气浮轴承和所述大掩模版之间形成有一具有双向刚度的气膜。