[发明专利]TE偏振的石英1×2分束斜光栅有效
| 申请号： | 201310473004.7 | 申请日： | 2013-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN103576220A | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周常河;李树斌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。当TE偏振光在一级布拉格角入射（23.41度）时，其透射光将分成等强度的2束光，这2束光总的衍射效率大于98%，并且其均匀性优于3%。本发明TE偏振倾斜石英1×2分束光栅由电子束直写装置结合微电子深刻蚀工艺加工而成，取材方便，造价小，能大批量生产，具有重要的实用前景。 | ||
| 搜索关键词： | te 偏振 石英 分束斜 光栅 | ||
【主权项】：
一种用于1064纳米波长的TE偏振的石英1×2分束斜光栅，其特征在于该分束光栅的光栅周期为798～802纳米，倾斜角为14～16度，脊深为755～759纳米，占空比为0.5。
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