[发明专利]三自由度解耦大行程微定位平台有效
申请号: | 201310470918.8 | 申请日: | 2013-10-11 |
公开(公告)号: | CN103486413A | 公开(公告)日: | 2014-01-01 |
发明(设计)人: | 李杨民;肖霄 | 申请(专利权)人: | 天津理工大学 |
主分类号: | F16M11/04 | 分类号: | F16M11/04;F16M11/18;F16M11/42 |
代理公司: | 天津佳盟知识产权代理有限公司 12002 | 代理人: | 侯力 |
地址: | 300384 天津市西青*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种三自由度解耦大行程微定位平台,包括动平台、底座、连接动平台和底座的三条结构相同的支链,每条支链均包括一个微位移驱动器、一个柔性移动副和两条结构相同且轴线相互平行的分支,每条分支的一端与动平台连接,另一端与柔性移动副连接,微位移驱动器的固定端与底座连接,驱动端与柔性移动副连接,动平台和底座均由三个正交的平板组成,三条支链以正交交叉的形式连接动平台与底座对应平面,并形成并联连接。本发明可实现解耦的三维移动,在不需要引入位移放大机构的前提下便可获得较大的行程和较高的分辨率。整体结构紧凑且具有良好的力学传递性能。 | ||
搜索关键词: | 自由度 解耦大 行程 定位 平台 | ||
【主权项】:
一种三自由度解耦大行程微定位平台,包括动平台(1)、底座(3)、连接动平台(1)和底座(3)的三条结构相同的支链,其特征在于:每条支链均包括一个微位移驱动器(15)、一个柔性移动副(14)和两条结构相同且轴线相互平行的分支,每条分支由两端的两个圆柱形柔性铰链(12)和中间的一个刚性连杆(13)组成,每条分支的一端与动平台(1)连接,另一端与柔性移动副(14)连接,微位移驱动器(15)的固定端与底座(3)连接,驱动端与柔性移动副(14)连接,微位移驱动器(15)的驱动方向沿分支轴线方向,动平台(1)和底座(3)均由三个正交的平板组成,参与构成第一支链(2)的第三分支(8)和第六分支(11)的轴线所确定的平面与动平台(1)的顶面平行,参与构成第二支链(4)的第二分支(7)和第四分支(9)的轴线所确定的平面、以及参与构成第三支链(5)的第一分支(6)和第五分支(10)的轴线所确定的平面分别与动平台(1)的两个侧面平行,三条支链以正交交叉的形式连接动平台(1)与底座(3)对应平面,并形成并联连接。
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