[发明专利]一种掩模板在审
| 申请号： | 201310464805.7 | 申请日： | 2013-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103589996A | 公开（公告）日： | 2014-02-19 |
| 发明（设计）人： | 魏志凌;高小平;魏志浩;潘世珎;许镭芳 | 申请（专利权）人： | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;C25D1/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽区域，在所述蒸镀孔的中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状。利用本发明提供的掩模板，蒸镀时可以减小蒸镀孔的孔壁对蒸镀材料的遮挡，蒸镀孔在ITO面设有凹槽区域可以防止掩模板蒸镀孔的边缘变形划伤沉积基板。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 | ||
【主权项】：
一种掩模板，包括掩模板本体及形成在所述掩模板本体上的蒸镀孔，所述蒸镀孔贯穿所述掩模板本体，所述掩模板包括蒸镀面和ITO面，其特征在于：所述蒸镀孔在所述ITO面设有凹槽区域，在所述蒸镀孔的中心轴线所在的截面上，所述蒸镀面的蒸镀孔的边缘线呈外扩式喇叭状。
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